사진참고 바랍니다. March PX-500 플라즈마 처리 시스템입니다. 기능: 에칭, 애싱, 플라즈마 클리닝에 사용되는 배치 시스템입니다. 제어: 마이크로프로세서 제어 및 디지털 컨트롤을 특징으로 합니다. 가스 입력: 두 개의 가스 입력과 질소 입력이 가능합니다. 전원: 13.56 MHz RF 전력 발생기를 사용합니다. 특징: 진공 시스템, 유량계, 수동 조정 기능 등을 포함합니다.
사진참고 바랍니다. March PX-500 플라즈마 처리 시스템입니다. 기능: 에칭, 애싱, 플라즈마 클리닝에 사용되는 배치 시스템입니다. 제어: 마이크로프로세서 제어 및 디지털 컨트롤을 특징으로 합니다. 가스 입력: 두 개의 가스 입력과 질소 입력이 가능합니다. 전원: 13.56 MHz RF 전력 발생기를 사용합니다. 특징: 진공 시스템, 유량계, 수동 조정 기능 등을 포함합니다.