1. 스핀코터 2. 제조사 : PRO Win 3. 구입년도 : 2021년 4. 구입가 : 18,000,000 원 5. 장비상태 : 양호(구입 후 사용하지 않은 상태) 6. 사양 Substrate Size Pieces~2 inch wafer & Ceramic Spin Speed 100~4000 rpm Recipe 20 Recipe, 20 step Spin Motor AC Servo Motor Spin Bowl 20 inch SUS Display 8.4’ LCD Touch screen Control PLC Touch control Vacuum Pump Oil-less vacuum pump Nozzle Chemical max 4ea Canister 20L SUS Size 1730x1350x800(HxLxD) 7. 연락처 : 010 5516 7972 cfissb@naver.com
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