3D print base에 SUSS 기반의 진공 플레이트 . Wet vacuum 공정을 염두에 두고 Drain 설치. 전단계로 2-stage vacuum trap 활용. 가격 인하 : 25만 -> 14만 5천 3D printed base, O-ring, 반도체 웨이퍼 다이싱용도 wet dicing chuck. slurry drain 기능.
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3D print base에 SUSS 기반의 진공 플레이트 . Wet vacuum 공정을 염두에 두고 Drain 설치. 전단계로 2-stage vacuum trap 활용. 가격 인하 : 25만 -> 14만 5천 3D printed base, O-ring, 반도체 웨이퍼 다이싱용도 wet dicing chuck. slurry drain 기능.